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精密位移平台和其它传感器测厚一样，要实现精密测厚需要注意以下条件，否则再好的传感器也测不准：
1、精密位移平台用单激光位移传感器
被测体放在测量平台上，测量出传感器到平台表面距离，然后再测出传感器到被测体表面间距，经计算后测出厚度。要求被测体与测量平台之间无气隙，被测体无翘起。这些严格要求只有在离线情况实现。
2、 精密位移平台双激光传感器测厚
在被测体上方和下方各安装一个激光位移传感器，被测体厚度D=C-（A+B）。其中，C是两个传感器之间距离，A是上面传感器到被测体之间距离，B是下面传感器到被测体之间距离。图中：SMR是指传感器量程起始间距，MR是指传感器量程。
在线厚度测量用这种方法优点是可消除被测体振动对测量结果的影响。但同时对传感器安装和性能有要求。
精密位移平台保证测量准确性的条件是：两个传感器发射光束必须同轴，以及两个传感器扫描必须同步。同轴是靠安装实现，而同步要靠选择有同步端激光传感器
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